表面计量中触针式仪器的若干进展

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wolfseason

【摘要】

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在表面测量中,对于触针式仪器需求相当大,因为触测法对斜率不敏感,测量结果具有高度的逼真性,这使它适用于测量同时含有形状与纹理参数的复杂物体.但是由于它测量速度相对较

【作者】

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WHITEHOUSE D J

【机构】

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英国华威大学机械学院,英国莱切斯特泰勒霍普森公司

【出处】

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纳米技术与精密工程

【发表日期】

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2011年4期

【关键词】

：

表面计量集成阻尼随机表面 surface metrology integrated damping random surfaces

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在表面测量中,对于触针式仪器需求相当大,因为触测法对斜率不敏感,测量结果具有高度的逼真性,这使它适用于测量同时含有形状与纹理参数的复杂物体.但是由于它测量速度相对较慢,在某些场合会形成劣势.本文阐明可以通过优化阻尼因数来提高横向移动速度,通过建立能够确定触针是否承受过压的判据,使触针不会引起表面损伤.

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