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研究了直接采用ICP-MS的等离子体屏蔽技术(PS)测定高纯氢氧化钽中Mg,Fe,Cr,Zn 4种杂质元素的分析方法。实验了的仪器工作参数,用Co做内标补偿基体效应,方法的回收率在80%～130%之间,相对标准偏差均低于18.40%,检出限为0.01ng/ml～0.56ng/ml,测定结果与ICP-AES测定结果基本一致。