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为提高硅基支持系统制备中光刻过程的线宽精度，用正交试验分析了前烘、曝光、显影主要步骤中一些主要参数对制备结果的影响，得到了它们的影响程度的规律以及较优的参数组合。在此基础上设计和训练了合适的前向误差反向传播神经网络，对主要工艺参数进行了进一步的分析、预测和优选，并用实验加以验证。最终得到在胶厚约1．55μm时，前烘温度100℃，时间90s；曝光时间5s；显影温度15℃，时间90s时，光刻后图形的线宽偏差最小，达到了0．3μm以下。