溶胶-凝胶薄膜工艺及其应用

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综述了近年来溶胶-凝胶薄膜工艺的最新进展及其应用。溶胶-凝胶制膜方法有浸渍提拉法、旋覆法、喷涂法以及刷涂法等。与传统的薄膜工艺相比,溶胶-凝胶薄膜工艺具有工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广、可以在各种形状的基底上制得多元氧化物薄膜等优点。溶胶-凝胶薄膜工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛的应用。
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