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期刊论文
降维测量微小位移的方法
降维测量微小位移的方法
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianjian1985
【摘 要】
:
论述了降维测量微小位移的原理,基于该原理,建立了微小位移降维测量系统,实现了用一线阵CCD接收器同时测量两维移量这一测量方法,介绍了降维测量系统的组成,实现方法和检测结果。
【作 者】
:
贺庚贤
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
降维测量
微小位移
电荷耦合器件
位移测量
Measurement by dimension reduction
Microtiny displacement
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论述了降维测量微小位移的原理,基于该原理,建立了微小位移降维测量系统,实现了用一线阵CCD接收器同时测量两维移量这一测量方法,介绍了降维测量系统的组成,实现方法和检测结果。
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