用程差衍射器件实现激光干涉无导轨测距

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提出在以半导体激光器为光源的迈克尔逊干涉系统的一臂中,插入一 栅距具特定分布的衍射光栅,使干涉场中各点的光程与待测合作目标的光程成 对应相等的关系,进而可使目标的距离相应地反映于干涉平面上,实现绝对测距 的目的。 It is proposed that a diffraction grating having a grating pitch and a specific distribution be inserted into one arm of a Michelson interferometer system using a semiconductor laser as a light source so that the optical path length of each point in the interference field is equivalent to the optical path of the target to be measured , So that the target distance can be reflected in the interference plane corresponding to achieve the purpose of absolute ranging.
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