真空感应CVI/CVD系统自动化控制技术

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【摘要】

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介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点.根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在

【作者】

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王庆巴德纯王冬商凯东李秋菊

【机构】

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东北大学真空与流体工程研究中心,辽宁,沈阳,110004锦州市三特真空冶金技术工业有限公司,辽宁,锦州,121003;

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

2006年3期

【关键词】

：

真空感应 CVI/CVD 串行通讯工业控制计算机监控系统

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介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点.根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在线实时测控.开发了真空感应系统专用控制软件,同时介绍了控制系统软件的主要功能.分析了PLC、智能模块、智能仪表与工业控制计算机的通讯机制,并给出了通讯的实现方法.

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