【摘 要】
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针对晶体表面的损伤特性，采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件，并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况，比较预处理和未预处理区域的
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室,中国科学院大学
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针对晶体表面的损伤特性，采用小光斑扫描激光预处理技术预辐照DKDP晶体元件，并采用表面损伤自动探测系统实时分析每个脉冲辐照后晶体表面的损伤情况，比较预处理和未预处理区域的损伤点密度确定表面预处理效果，并进一步模拟分析表面各类缺陷在纳秒强激光辐照下的动态过程，解释激光预处理对精抛表面提升作用的微观机制并分析它对粗抛表面提升不明显的原因。实验结果表明，激光预处理技术对粗抛表面的提升作用并不明显，但是可以大幅度抑制精抛表面的损伤点密度。在本文的实验条件下，晶体表面的抗激光损伤能力可以提升约60％。比较体材料和精
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