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为了实现变压器油中溶解的乙炔气体检测，研发了一款基于Au修饰SnO2气敏薄膜的乙炔气体传感器。通过射频溅射制备SnO2薄膜，进而通过直流溅射制备Au并通过溅射时间改变得到不同金修饰量的气敏薄膜，采用MEMS（微机电系统）工艺开发了基于气敏薄膜的乙炔气体传感芯片。对比纯SnO2以及不同Au修饰量的SnO2气敏薄膜的气敏性能，结果显示，基于20s-Au修饰的SnO2薄膜MEMS乙炔传感器性能最佳，最佳工作温度为200℃，对于体积分数为1×10-6的乙炔气体的响应值高达14，响应恢复时间分别为5 s和87 s，且具有良好的重复性，检测限低至0.1×10-6 体积分数。对比测试体积分数为1×10-6浓度下变压器油中溶解的氢气、甲烷等其他气体，本文所研发的MEMS乙炔气体传感器仍具有优越的选择性，在长期测试下保持良好稳定性，可为解决变压器油中溶解乙炔气体的检测难题提供一种元件选择。