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主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势
【摘 要】
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主要介绍了微机电系统 (MEMS) (MicroElectroMechanicalSystem)的发展概况、特点、加工技术及其发展趋势。
【机 构】
：
华南理工大学机电工程系
【出 处】
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机械设计与研究
【发表日期】
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2004年01期
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