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本文介绍用于超大规模集成电路的光刻技术及其光刻胶,包括化学增值型光刻胶和无显影气相光刻胶等的研究进展和发展趋势.
光刻与光刻胶的研究与发展
【摘 要】
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本文介绍用于超大规模集成电路的光刻技术及其光刻胶,包括化学增值型光刻胶和无显影气相光刻胶等的研究进展和发展趋势.
【机 构】
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清华大学化学系北京,100084
【出 处】
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高分子通报
【发表日期】
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1993年03期
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