【摘 要】
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为了实现对集成光路中各通道上的光强进行实时监测,测量nA级微弱电流,提出了两种基于运算放大器的微弱电流测量电路,并完成PCB板制作和电路测量。采用了将微弱电流转换成电压
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,中国科学院大学
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为了实现对集成光路中各通道上的光强进行实时监测,测量nA级微弱电流,提出了两种基于运算放大器的微弱电流测量电路,并完成PCB板制作和电路测量。采用了将微弱电流转换成电压进而放大电压信号的方法,通过实际测试,两种电路达到了0.09 nA/0.2 nA分辨能力,80 nA/120 nA测量范围,实现了光电模块中微弱电流测量需求;同时分析了电路的温度稳定性、占用PCB板的面积、功耗,为不同应用场景下光电模块中微弱电流测量电路的选择提供依据。
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