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可溶性锆盐与草酸溶液或草酸锆溶液与 NH4OH 相互作用即得到草酸锆沉淀,沉淀以不同介质洗涤后分解即得到超细 ZrO2粉料。根据不同的沉淀方法及洗涤介质,所得粉料前驱剂（干燥的沉淀物）可以是非晶态,微晶态及晶态 Zr（C2O4）2·4H2O。不同过程得到的粉料420℃煅烧后即得亚稳四方相氧化锆（t-ZrO2）,但四方相向单斜相转变的温度不同。粉料的颗粒尺寸,形貌及团聚尺寸等均与制备过程有关。乙醇洗涤的粉料无团聚,600℃时晶粒尺寸为20nm。