新型Ti2O3基湿敏传感器的研制

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本研究探索了Ti2O3的湿敏性能,通过水热法合成Ti2O3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti2O3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti2O3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH(相对湿度)增至95%RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级。Ti2O3基湿敏传感器的最大湿滞值小于2%RH,响应时间小于5。通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理。研究结果显示出Ti2O3在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值。
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