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在全球半导体行业化学机械研磨（CMP）技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯公司电子材料CMP技术事业部近日宣布，其先进的VisionPad平台家族又增添一款新品——VisionPad 5000CMP研磨垫。
罗门哈斯推出新一代研磨垫
【摘 要】
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在全球半导体行业化学机械研磨（CMP）技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯公司电子材料CMP技术事业部近日宣布，其先进的VisionPad平台家族又增添一款新品——VisionPad 5000CMP
【出 处】
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工程塑料应用
【发表日期】
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2008年3期
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