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讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析，并针对典型的弹性质量系统，建立了其过载变形的模型，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。
MEMS固态引信核心子系统的设计
【摘 要】
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讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析，并针对典型的弹性质量系统，建立了其过载变形的模型，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。
【机 构】
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北京理工大学机电工程系北京100081,北京理工大学机电工程系北京100081,北京理工大学机电工程系北京100081
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2000年1期
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