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六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。
六氟丁二烯的制备、纯化及应用
【摘 要】
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六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简
【机 构】
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苏州金宏气体股份有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2018年01期
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