制备SnO_2薄膜时原料中水对其成膜和光电性质的影响

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用无水SnCl_4和SnCl_4·5H_2O为原料,用热喷涂法制备SnO_2薄膜,在基片温度为530℃时,对所制得SnO_2薄膜进行X-射线、SEM分析,并对其光电性质进行测定。总结出含H_2O的SnCl_4制得的SnO_2薄膜生长速度快,电阻率低。 The SnO_2 thin films were prepared by thermal spray method using anhydrous SnCl_4 and SnCl_4 · 5H_2O as raw materials. The obtained SnO_2 films were characterized by X-ray and SEM at the substrate temperature of 530 ℃. It is concluded that the SnO_2 thin films with H_2O and SnCl_4 have high growth rate and low resistivity.
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