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简要分析了MEMS(微机电系统)器件封装的难点所在,随后介绍了晶片键合,晶片级密封,倒装芯片技术等主要的MEMS封装技术.
MEMS封装中的关键技术
【摘 要】
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简要分析了MEMS(微机电系统)器件封装的难点所在,随后介绍了晶片键合,晶片级密封,倒装芯片技术等主要的MEMS封装技术.
【机 构】
：
中北大学电子工程系,山西科泰微技术有限公司
【出 处】
：
科技情报开发与经济
【发表日期】
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2005年5期
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