石英敏感元件的非传统加工技术研究进展

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本文以石英摆片为例,具体介绍了石英摆片加工的各种成形工艺;给出了各种加工方法的关系参加参数;同时了这些工艺方法的优缺点;对不同加工工艺的加工质量进行了比较和分析。并展望了石英玻璃非传统加工技术的发展前景。
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