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石英敏感元件的非传统加工技术研究进展
石英敏感元件的非传统加工技术研究进展
来源 :中国建材科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aa87850011
【摘 要】
:
本文以石英摆片为例,具体介绍了石英摆片加工的各种成形工艺;给出了各种加工方法的关系参加参数;同时了这些工艺方法的优缺点;对不同加工工艺的加工质量进行了比较和分析。并展望
【作 者】
:
张广玉
杨乐民
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
中国建材科技
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
石英摆片
石英玻璃
化学加工
激光切割
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本文以石英摆片为例,具体介绍了石英摆片加工的各种成形工艺;给出了各种加工方法的关系参加参数;同时了这些工艺方法的优缺点;对不同加工工艺的加工质量进行了比较和分析。并展望了石英玻璃非传统加工技术的发展前景。
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