【摘 要】
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目前低压扫描电镜已得到发展,相应地低压电子探针定量分析也需要发展。本文用NBS的Cu—Au合金、GaAs、GaP和InP等标样,对三种商用EDS (EDAX9100,TN5500和Kevex8000)在5～30 kev
【机 构】
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中国科技大学、结构分析开放实验室,四川大学,北京铀矿研究院,有色金属研究总院
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目前低压扫描电镜已得到发展,相应地低压电子探针定量分析也需要发展。本文用NBS的Cu—Au合金、GaAs、GaP和InP等标样,对三种商用EDS (EDAX9100,TN5500和Kevex8000)在5～30 kev下的无标样定量分析结果进行了比较,指出了提高低压电子探针定量分析准确性需要解决的问题。更多还原
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