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利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线。经实践检验,利用模拟工具得出的运行参数有利于电子级多晶硅的制备,建模工作在电子级多晶硅的生产上取得了很好的效果。
数值建模在电子级多晶硅制备中的应用
【摘 要】
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利用化工模拟软件建立还原炉数值模型,通过还原炉炉内在各种条件下的温度场、流场模拟测试,得出最佳的运行工艺参数,形成完整的还原运行曲线。经实践检验,利用模拟工具得出的
【机 构】
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昆明冶金研究院,云南省选冶新技术重点实验室,云南冶金云芯硅材股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2019年3期
【基金项目】
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云南省科技厅省院省校合作专项“电子级多晶硅产业化关键技术攻关及应用”（2014IB003）
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