13单元双压电晶片变形反射镜主要性能参数的测试

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本文介绍自适应光学用13单元双压电晶片变形反射镜原始面形、δ-V 曲线、频响特性曲线、静态影响函数矩阵等几个主要性能参数的测试方法和测试结果。从δ-V 曲线得出了电压灵敏度和非线性滞后系数;从影响函数矩阵反演出了控制电压矩阵,利用这些结果校正了变形镜的原始面形,得出了一些重要的结论。
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