【摘 要】
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利用选区电子衍射法定量表征热解炭涂层的择优取向。采用扫描电镜观察热解炭涂层自然断面的结构形貌特征,并采用透射电镜测定取向角,通过在同一位置改变选区的面积得到不同的
【机 构】
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杭州电子科技大学机械工程学院,兰州兰飞医疗器械有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50975070)
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利用选区电子衍射法定量表征热解炭涂层的择优取向。采用扫描电镜观察热解炭涂层自然断面的结构形貌特征,并采用透射电镜测定取向角,通过在同一位置改变选区的面积得到不同的衍射图谱,讨论选区面积对取向角的影响。研究结果表明：热解炭涂层主要由球形颗粒状结构组成,颗粒直径为300～1000nm,片层状结构所占体积比很小;热解炭涂层在局部区域（直径为190nm的选区）内的平均取向角为72°,并且球形颗粒内芳香碳平面的择优取向方向平行于颗粒表面;球形颗粒状结构决定了涂层的取向角随着选区面积的增大而增大,而球形颗粒
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