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在基于LabVIEW晶体生长检测系统中,基于最小二乘法曲线拟合原理和单晶硅生长特性,运用图形化编程语言对采集的单晶硅生长信息图进行图像处理,对部分＂释热光环＂进行圆弧拟合,由拟合出的圆进行晶体生长直径检测。实验表明,该设计能够很好地完成圆弧拟合,实现对单晶硅的生长直径检测,符合系统检测要求。
基于LabVIEW晶体生长检测系统的圆弧拟合技术
【摘 要】
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在基于LabVIEW晶体生长检测系统中,基于最小二乘法曲线拟合原理和单晶硅生长特性,运用图形化编程语言对采集的单晶硅生长信息图进行图像处理,对部分＂释热光环＂进行圆弧拟合,由
【机 构】
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西安工业大学电子信息工程学院
【出 处】
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电子科技
【发表日期】
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2011年9期
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