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Determination of Plasma Parameters in a Dual-Frequency Capacitively Coupled CF4 Plasma Using Optical
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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Laboratory of Plasma Physical Chemistry, Dalian University of Technology, Dalian 116024,China“,”Scho
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2013年9期
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