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简要介绍了工业洁净室常用风淋系统的原理及其应用,分析了影响风淋系统净化效果的几种因素,给出了工业洁净室常用风淋系统的具体计量检测方法。
工业洁净室风淋系统测量方法研究
【摘 要】
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简要介绍了工业洁净室常用风淋系统的原理及其应用,分析了影响风淋系统净化效果的几种因素,给出了工业洁净室常用风淋系统的具体计量检测方法。
【机 构】
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北京东方计量测试研究所
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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2010年4期
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