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期刊论文
带再生装置的电镀铂系统
带再生装置的电镀铂系统
来源 :电镀与精饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LISA19861011
【摘 要】
:
铂镀层有各种各样的用途,如钛基体上电镀铂广泛应用于不溶性阳极,首饰镀铂等,此外,电镀铂还经常应用于半导体器件的制造中。在半导体器件镀铂时需采用较低的阴极电流密度,在低阴极
【出 处】
:
电镀与精饰
【发表日期】
:
2012年9期
【关键词】
:
镀铂
再生装置
阴极电流密度
半导体器件
系统
镀液组成
不溶性阳极
钛基体
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铂镀层有各种各样的用途,如钛基体上电镀铂广泛应用于不溶性阳极,首饰镀铂等,此外,电镀铂还经常应用于半导体器件的制造中。在半导体器件镀铂时需采用较低的阴极电流密度,在低阴极电流密度下,镀液中部分四价铂会不完全还原为二价铂,使镀液组成发生变化,从而影响铂镀层的质量。
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