论文部分内容阅读
根据Suhir的双金属带的热应力分布理论，建立了Si／Si直接键合界面应力模型，推导出了由于高温引起的正应力、剪切应力和剥离应力的解析方程。并且应用模拟软件Matlab对热应力进行了模拟，直观地表现了键合界面应力的大小及其分布情况，对键合工艺有一定的指导意义。
Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟
【摘 要】
：
根据Suhir的双金属带的热应力分布理论，建立了Si／Si直接键合界面应力模型，推导出了由于高温引起的正应力、剪切应力和剥离应力的解析方程。并且应用模拟软件Matlab对热应力进行
【机 构】
：
绍兴文理学院微电子实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2006年11期
【基金项目】
：
国家863计划项目（2003AA404010）,国家杰出青年科学基金资助项目（50325519）
其他文献
自旋晶体管是指利用电子自旋自由度构建的在结构上类似于传统半导体晶体管的三端自旋器件.对基于自旋劈裂的磁双极型自旋晶体管、基于热电子输运的自旋晶体管和基于Rashba效
具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro／meso结构器件的加工，是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造金属micro／meso结构器件的几种常用加工技术（精
目的探讨项八针联合吞咽康复训练对假性延髓麻痹吞咽障碍患者血清VEGF、TGF-β1的影响。方法选取2017年1月~2019年1月本院收治的假性延髓麻痹吞咽障碍患者136例,依据不同治疗
目的研究重度颅脑损伤患者采用丙氨酰谷氨酰胺治疗的临床效果。方法选取2015年8月~2017年8月我院收治的120例重度颅脑损伤患者作为研究对象,按照随机数字表法将其分为对照组
“生产发展、生活富裕、乡风文明、村容整洁、管理民主”的二十字方针,既是建设社会主义新农村的目标,也是建设社会主义新农村的具体要求。其中生产发展、村容整洁都与环境保