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多孔硅异质结的制备及光电探测性能研究
多孔硅异质结的制备及光电探测性能研究
来源 :中国科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wujun33
【摘 要】
:
利用不同方法制备出多孔硅并在多孔硅上生长透明导电的薄膜,通过多孔硅独特的结构特点与SnO2薄膜形成p-n异质结,研究其光电响应特性,初步结果表明,多孔硅/SnO2薄膜异质结构的
【作 者】
:
康雁泉
冯君仪
刘佐濂
潘书生
张成云
【机 构】
:
广州大学物理与电子工程学院
【出 处】
:
中国科技信息
【发表日期】
:
2019年24期
【关键词】
:
SNO2薄膜
光电探测器
多孔硅
异质结
响应时间
透明导电
响应度
【基金项目】
:
广东省大学生攀登计划项目(pdjhb0405),大学生创新训练省级项目(201811078090)资助
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利用不同方法制备出多孔硅并在多孔硅上生长透明导电的薄膜,通过多孔硅独特的结构特点与SnO2薄膜形成p-n异质结,研究其光电响应特性,初步结果表明,多孔硅/SnO2薄膜异质结构的光电探测器具良好的响应度以及响应时间,这将拓宽多孔硅异质结在光电探测器领域的应用。
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