【摘 要】
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利用光栅衍射方程和严格耦合波理论，研究亚波长浮雕光栅的衍射效应对抗反射和增强透射的影响，理论分析表明：在只需要达到抗反射效果而不需要提高透射效率的条件下，除了微结构的折
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利用光栅衍射方程和严格耦合波理论，研究亚波长浮雕光栅的衍射效应对抗反射和增强透射的影响，理论分析表明：在只需要达到抗反射效果而不需要提高透射效率的条件下，除了微结构的折射率调制之外，可利用光栅衍射形成的横向波导共振来降低反射效率。实验结果与理论分析相一致：利用激光干涉光刻法制作了周期为290 nm的一维浮雕光栅，通过透射及反射光谱的测试，表明这种结构在大角度范围内对可见光波段有明显的抗反射效果，但是只有波长在非衍射区才具有透射增强效果，而在衍射区则透射降低。
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