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在单晶金刚石弹性研磨过程中,测量研磨盘浮动的涡流传感器与盘面的距离较小,不利于研磨盘的调整。为了提高测量距离,提出了一种基于光学鼠标传感器ADNS3080的中远距离的微位移测量方法,分析了测量原理,对测量系统的光路、显示窗口、数据的存储、测量软件部分进行了设计。并通过试验证明该方法能实现中远距离微位移的测量。