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真空的获得和维持是目前FED研究工作中存在的主要困难之一.本文研究了在现有的传统封接排气以及消气工艺的实验条件下,进行了多种工艺改进:设计了一种新型的三层FED器件结构,在这种结构中,实现了蒸散型消气剂和非蒸散型消气剂的共同使用;并采用了气体保护,以及电子轰击去气等有效措施,实现了FED器件内部持久的高真空度,为FED阴极高稳定、长寿命工作提供了有力的保障.