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加速电压和样品表面粗糙度对EDS分析精度的影响
加速电压和样品表面粗糙度对EDS分析精度的影响
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XIAOZHOU914
【摘 要】
:
本文讨论了加速电压和样品表面粗糙度对X射线能谱仪(EDS)分析精度的影响。结果表明:不同元素的特征X射线强度最大值所对应的加速电压不同;当加速电压一定时,表面粗糙对特征X
【作 者】
:
张淑芳
冀克俭
【机 构】
:
中国兵器工业第五三研究所,中国兵器工业第五三研究所济南250033,济南250033
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
加速电压
X射线能谱仪
表面粗糙度
EDS
Accelerating voltage
Characteristic X-ray
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本文讨论了加速电压和样品表面粗糙度对X射线能谱仪(EDS)分析精度的影响。结果表明:不同元素的特征X射线强度最大值所对应的加速电压不同;当加速电压一定时,表面粗糙对特征X射线强度的影响是造成分析误差的主要原因之一。
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