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本文介绍了一种多道成象光谱探测列阵的工作原理及设计思想。通过对器件主工技术参数的分析及低功耗扫描电路的应用，并采取场注入等平面工艺措施，使探测列阵的光敏象元结构得到改善，从而提高了探测器的响应度和动态范围，光谱分析范围则可由近红外区到紫外区。最后给出主要参数的实验数据。
多道成像光谱探测列阵的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种多道成象光谱探测列阵的工作原理及设计思想。通过对器件主工技术参数的分析及低功耗扫描电路的应用，并采取场注入等平面工艺措施，使探测列阵的光敏象元结构得到
【机 构】
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重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室,400044
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1999年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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