电子级掺杂锑扩散源锑含量的测定

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建立了微波消解-溴酸钾法测定电子级掺杂锑扩散源锑含量的测试方法.在样品中加入盐酸(无硝酸根),经过微波消解,用盐酸(无硝酸根)控制酸度,滴定时温度为70~90℃,以甲基橙为指示剂,用溴酸钾标准滴定溶液直接滴定锑扩散源中锑含量.实验表明,该方法回收率为99.20%~100.24%,相对标准偏差(RSD,n = 6)为0.073%~0.10%,分析结果稳定、准确度高,适用于高分子材料有机锑扩散源常量滴定分析,能够满足电子级掺杂锑扩散源的分析检测要求.方法快速准确,具有良好的经济效益和社会效益.
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