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为了研究高功率固体激光装置内污染诱导光学元件损伤问题，基于有限元数值方法，结合污染物诱导熔石英损伤机理，给出了熔石英样片在高功率脉冲激光辐照下的温度场和应力场分布。结果表明，激光脉冲辐照过程中主要以污染物的温度升高为主，最高至2800K，而样片温升不大，仅为7K；在激光脉冲辐照后100μs的时间内，样片表面中心快速升温至2200K，而边缘处仅为700K，在较短的距离内温度变化剧烈，由此产生的热应力导致表面发生损伤；损伤区域中心表现为压应力，边缘为拉应力，最大可达30．73MPa。测试了污染物诱导样片损伤斑