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期刊论文
离子束诱发沉积Pt纳米结构的研究
离子束诱发沉积Pt纳米结构的研究
来源 :广东化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:loganmax
【摘 要】
:
文章采用聚焦离子束诱发沉积的方法在Si表露制备了周期性的Pt纳米结构,利用扫描电子显微镜研究了离子束流和沉积时间对纳米结构的影响。本研究对于实现纳米结构的可控沉积具有
【作 者】
:
钱海霞
曾燮榕
【机 构】
:
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
【出 处】
:
广东化工
【发表日期】
:
2009年8期
【关键词】
:
聚焦离子束
离子束诱发沉积
纳米结构
focused ion beam ion beam induced deposition nanostructure
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文章采用聚焦离子束诱发沉积的方法在Si表露制备了周期性的Pt纳米结构,利用扫描电子显微镜研究了离子束流和沉积时间对纳米结构的影响。本研究对于实现纳米结构的可控沉积具有学术参考价值。
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