【摘 要】
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单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高.本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,
【机 构】
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清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室,北京100084
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单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高.本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的单体大尺寸高精度全息平面光栅制造技术的研究进展以及存在的问题,并着重对基于扫描干涉光刻技术的单体大尺寸高精度全息光栅制造技术的研究进展进行论述.最后,总结了大尺寸高精度平面光栅制造技术——扫描干涉光刻技术的发展趋势.
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