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反射式高能电子衍射仪（RHEED）是一种表面分析工具，以往都是用来对晶体进行定性观察，以研究晶体的结晶状况，很少用来进行晶体结构的定量计算。在分析RHEED的工作原理的基础上，研究了Al2O3衍射条纹宽度、电子束入射方向和晶面方向之间的关系，并尝试利用RHEED来分析和计算Al2O3（0001）面上两个重要方向上的晶面间距，得到了理想的结果。由于RHEED是一种原位监测仪器，所以可对薄膜的生长进行实时原位监测。在测晶面间距等常数时，与对样品要求极高的透射电子显微镜相比，RHEED更方便。