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研制了一台高频离子源 ,通过实验调试取得了引出电压、聚焦电压及放电气压对引出束流影响的变化曲线 ,从而获得高频离子源的最佳工作条件 ,并测定了引出束流的束径包络
用于静电加速器的高频离子源的设计和调试
【摘 要】
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研制了一台高频离子源 ,通过实验调试取得了引出电压、聚焦电压及放电气压对引出束流影响的变化曲线 ,从而获得高频离子源的最佳工作条件 ,并测定了引出束流的束径包络
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年3期
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