论文部分内容阅读
在电子束曝光系统中,背散射电子检测器是重要部件之一。本文简要地介绍了该装置的工作原理、功能及检测系统概况,并给出了多种应用举例。
电子束曝光机用背散射电子检测装置的研制及应用
【摘 要】
：
在电子束曝光系统中,背散射电子检测器是重要部件之一。本文简要地介绍了该装置的工作原理、功能及检测系统概况,并给出了多种应用举例。
【机 构】
：
中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
：
电工电能新技术
【发表日期】
：
1989年2期
其他文献
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
由于互联网技术及新媒体交互技术的快速发展,人们进入了＂全媒体＂信息时代。与媒体生态环境有较强联系的广告设计,必须适应全媒体语境的要求,推动广告设计课教学的与时俱进。本
目的探讨桃红四物汤加减治疗急性缺血性脑中风实证的临床疗效。方法将120例急性缺血性脑中风实证患者随机分为对照组和治疗组:治疗组在常规治疗的基础上,予桃红四物汤加减中
在我国,关于维生素的检测方法主要应用于食品、饲料、添加剂和药物分析中。在过去的几年中,相关部门也相继制定了多种检测方法。以维生素B6为例,目前国内现行的检测方法就有
我市是一个毗邻粤、闽经济发达省份的山区农业大市，许多山区乡村由于地处偏僻、信息闭塞和就业途径少等诸多原因，农业结构严重单一，人们的生活水平仍然较为低下。如何通过发展农
罗尔斯的正义论体系分为理想理论和非理想理论。理想理论中两个正义原则假设了严格的服从,即优先性针对的是最严重的不正义,而非理想理论严格地依赖两个正义原则。这两个部分
对利用全球导航定位系统的海洋反射信号（GNSS-R）反演海面风速的方法进行了研究。GNSS-R技术作为一种新型的、低成本的海洋微波遥感测风技术,与其他测风技术相辅相成,弥补了某些
社会的快速发展带动了人们生活水平的不断提高,在物质条件得以保障的基础上,人们越来越注重身体健康以及精神文化素养的提升,因此也催生了体育文化与其他文化和谐共存、共同