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采用惰性气体熔融一红外吸收光谱法测定硅中的氧，选择锡囊和镍篮做助熔剂，样品称样量为0．05g，分析功率为4．5kW。实验结果表明，样品释放完全，测定结果的相对标准偏差为4．67％（n=5），用GSBH40104-1996标准样品进行加标回收试验，回收率为94％～104％，精密度和准确度满足测定要求。