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采用RF反应溅射法在Si（111）衬底上制备出了沿C轴高度取向的多晶ZnO薄膜。通过对ZnO薄膜的X射线衍射（XRD）分析，研究了沉积温度及退火对多晶ZnO薄膜取向性、晶粒大小和应力的影响。结果表明，衬底温度和退火温度对多晶ZnO薄膜的晶体结构影响显著。适当的提高衬底温度或适当的增加退火温度都能有效地改善ZnO薄膜的结构特性，但增加退火温度更有优势。同时原子力显微镜观察表明，退火能有效地降低ZnO薄膜的表面粗糙程度。