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ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除
ULTRA PLUS场发射扫描电子显微镜的日常维护及故障排除
来源 :理化检验(物理分册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:kissyouss
【摘 要】
:
以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例,从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法。以期解决扫
【作 者】
:
曹艳芬
宋庆军
卢慧粉
孙秋香
【机 构】
:
济宁半导体及显示产品质量监督检验中心
【出 处】
:
理化检验(物理分册)
【发表日期】
:
2015年1期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
日常维护
故障排除
scanning electron microscope
daily maintenance
troubleshooti
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以德国蔡司ULTRA PLUS扫描电子显微镜为例,从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结分析了场发射扫描电子显微镜的日常维护保养方法和故障排除方法。以期解决扫描电子显微镜的日常维护和常见的故障排除问题,降低电镜维护保养成本,延长使用寿命。
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