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本文根据实验研究测试了一维(二象限)PSD的线性特性,光斑大小和光束倾斜对PSD定位精度的影响,同时分析了其它一些因素的影响。实验表明,1mm直径的He—Ne激光束定位精度2.5μm,光斑越大,倾斜角越大,PSD的定位精度越低。PSD的线性性除与入射光能量有关外,还与后续处理电路有关。
一维PSD定位精度的实验研究
【摘 要】
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本文根据实验研究测试了一维(二象限)PSD的线性特性,光斑大小和光束倾斜对PSD定位精度的影响,同时分析了其它一些因素的影响。实验表明,1mm直径的He—Ne激光束定位精度2.5μm
【机 构】
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北京机械工业学院,北京机械工业学院北京100085,北京100085,北京100085
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1996年3期
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