【摘 要】
：
采用x射线小角散射(SAXS)技术研究了由射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)、热丝化学气相沉积(HWCVD)和等离子体助热丝化学气相沉积(PE-HWCVD)技术制备的微晶硅(μc-Si:
【机 构】
：
中国科学院研究生院物理系,内蒙古师范大学物理系,中国科学院高能物理研究所北京同步辐射实验室,中国科学院半导体研究所
论文部分内容阅读
采用x射线小角散射(SAXS)技术研究了由射频等离子体增强化学气相沉积(rf-PECVD)、热丝化学气相沉积(HWCVD)和等离子体助热丝化学气相沉积(PE-HWCVD)技术制备的微晶硅(μc-Si:H)薄膜的微结构.实验发现,在相同晶态比的情况下,PECVD沉积的μc-Si:H薄膜微空洞体积比小,结构较致密,HWCVD沉积的μ-Si:H薄膜微空洞体积比大,结构较为疏松,PE-HWCVD沉积的μc-Si:H薄膜,由于等离子体的敲打作用,与HWCVD样品相比,微结构得到明显改善.采用HWCVD二步法和PE-HWCVD加适量Ar离子分别沉积μc-Si:H薄膜,实验表明,微结构参数得到了进一步改善.45°倾角的SAXS测量显示,不同方法制备的μc-Si:H薄膜中微空洞分布都呈各向异性.红外光谱测量也证实了SAXS的结果.
其他文献
本文利用压力波法(PWP)研究了低密度聚乙烯(LDPE)以及掺杂0.5%(质量分数)TiO2的低密度聚乙烯在高电场下的空间电荷分布及其等温衰减特性,结合红外光谱(IR)、扫描电镜(SEM)和
根据胶原蛋白分子的结构特点,建立了新的胶原蛋白分子模型,得到了更能体现胶原蛋白分子三维结构的系统哈密顿量,并采用4阶Runge-Kutta算法,对得到的电场作用下胶原蛋白分子中
为深入了解电流变液的粘度和剪切屈服应力等宏观力学性能与其微观结构的关系,对不同高压电场作用下电流变液的成链过程,成链后的流动、屈服状态以及受剪切时链结构的变化进行
对基于级联和频差频非线性效应铌酸锂光波导新型全光波长转换器进行了理论研究。这种新型波长变换器需要两束抽运光源,它将输入的抽运光波长置于信号光波段窗口的两边,抽运光
为了在高功率DPL中获取高光束质量输出激光,利用扭转模获取高光束质量种籽源的同时,进行了高重复频率下的热致及光致双折射效应的补偿、高功率二极管均匀泵浦聚光腔设计及相
介绍了一种针对瞬态分子光谱测量的新技术:光外差-磁旋转-浓度调制光谱技术,这种光谱技术具有很高的灵敏度,综合了光外差探测技术、磁旋转光谱技术和浓度调制光谱技术的特点,
针对新发展的、能够描述循环硬化行为应变幅值依赖性的粘塑性本构模型,讨论了它的数值实现方法.首先,为了能够对材料的循环棘轮行为(Ratcheting)和循环应力松弛现象进行描述,
基于介观电容可看作介观隧道结的物理事实,利用旋波近似方法,对介观LC电路进行量子化处理,量子化后介观LC电路系统等效为一个克尔系统.再利用热场动力学理论方法研究了介观LC
采用平面波展开加超元胞方法计算了二维正方格子磁性光子晶体的光子带隙结构 ,其中散射子的形状分别为长方形 ,正方形 ,六角形和圆形 .结果表明绝对带隙宽度和其宽高比远大于
具有一定宽度和厚度的无穷长压电条置于均匀各向同性半空间上 ,压电条在电激励下产生机械振动从而在整个空间产生声场 .将压电条取为 6mm晶系 ,其对称主轴沿长度方向 .针对这