基于视觉伺服的3D微定位控制

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分析了基于全局显微视觉的视觉伺服定位控制方法.推导了G型体视显微镜的成像模型,结合图像视觉伺服和立体视觉理论,建立了3D微定位视觉伺服控制模型.在自主研制的微操作系统上进行了3D视觉伺服微定位试验,并分析了影响视觉伺服定位控制精度的误差因素,通过标定获得重要的控制参数.试验结果表明:采用3D微定位伺服控制模型的定位误差为±(3~4)μm,定位精度和稳定性能满足微定位的要求.
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