用于TFT-LCD生产线的新一代PECVD和PVD系统

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【摘要】

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在2003年11月28～31日于日本YoKohama举办的FPD展览会上展示了最大尺寸的aSi淀积基板,这种基板可满足在一块基板上生产40英寸电视的要求.从而表明大尺寸TFT-LCD 电视的新纪元正

【机构】

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Unaxis Shanghai Co. Ltd. Displays Division

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2004年4期

【关键词】

：

TFT-LCD基板 PECVD PVD系统薄膜淀积发展趋势

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在2003年11月28～31日于日本YoKohama举办的FPD展览会上展示了最大尺寸的aSi淀积基板,这种基板可满足在一块基板上生产40英寸电视的要求.从而表明大尺寸TFT-LCD 电视的新纪元正在来临.从原理、系统结构、基板传输(外部和内部)、工艺概述了用于TFT-LCD生产线的第6代和第7代PECVD和PVD系统的腔室等方面新技术方案.讨论了用于TFTLCD生产的PECVD和PVD系统的未来趋势.

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