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中科院上海硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶
中科院上海硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxiaoshixisheng
【摘 要】
:
中国科学院上海硅酸盐研究所科技人员立足自主研发,在掌握直径2英寸、3英寸碳化硅单晶生长技术之后,近日成功生长出直径4英寸4H晶型碳化硅单晶,这标志着我国碳化硅单晶生长技术
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2013年5期
【关键词】
:
碳化硅单晶
饱和漂移速度
硅酸盐
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中科院
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中国科学院上海硅酸盐研究所科技人员立足自主研发,在掌握直径2英寸、3英寸碳化硅单晶生长技术之后,近日成功生长出直径4英寸4H晶型碳化硅单晶,这标志着我国碳化硅单晶生长技术达到了国际一流水平。
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